白云大讲堂之98:MEMS(微电机系统)及其设计与制造

来源: www.bvtc.edu.cn

10月9号，广东白云学院第98场白云大讲堂“MEMS(微电机系统)及其设计与制造”在儒学堂隆重举行，主讲嘉宾为机电工程学院副院长张国庆教授。

      张教授从概念、构造和应用这三个方面解读了MEMS的发展过程。他说，微机电系统是指可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。从构造方面来说，它是以半导体制造技术为基础发展起来的。MEMS是由特定的电容、电阻、线圈、引线等等精致而成。它的学科面也扩大到微尺度下的力、电、光、磁、声、表面等物理学的各分支。所以，要了解MEMS系统，就要从物理学各个方面了解。MEMS在当今社会上有很广的应用。在医疗上，我们可以利用MEMS系统可以制成模型，从而使病人清楚地了解到自己的生理状况。我们还可以制成比动脉还细小的机器人，让它通过动脉来支开通往心脏的梗塞。在日常生活中，压力传感器、加速计使测量更加精准。当然，MEMS系统虽然功能强大，但生物相容性使它受到很大限制。张教授希望在座的学生能发奋图强，为完善MEMS系统做出自己的贡献。

张国庆教授的演讲既有理论高度，又有鲜活的实例，受到同学们的热烈欢迎。不仅激发了同学们对微电机系统学习的热情，增加了他们的知识储备，更使同学们特别是机电相关专业的同学们对自己的专业前景有了更明确的了解，从而对自己的未来更加充满信心与希望。

张国庆，陕西富平人，教授，博士，硕士研究生导师。广东白云学院机电工程学院副院长。主要研究方向为：绿色再制造工程、机电一体化技术、机器人技术、机械CAD/CAE。主持省级课题3项，发表论文20多篇。

张国庆教授在讲座中